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스마트 진공펌프용 상태변수 측정모듈의 주요 성능과 확장성
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
진공펌프 진단기술 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
Smart 건식진공 펌프의 상태진단 모듈 시작품 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
초박막 공정용 진공펌프 특성평가 및 복합 상태 진단기술 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
건식 진공펌프의 상태진단을 위한 PMS 프로그램 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
Smart형 PMS를 이용한 진공펌프 상태진단 기술 개발 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
건식진공펌프 개발 국내외 동향
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
스마트형 진공 배기 진단 제어 시스템 개발(3 세부과제)
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
스마트 진공펌프용 진동측정 모듈의 주요 성능과 제품화 진척도
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
저진공펌프의 복합 성능평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
실 공정에서의 저진공 드라이펌프의 에너지 소비량 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
상용화를 위한 진공펌프 신뢰성평가에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
저진공 드라이펌프의 용량과 컨덕턴스에 따른 배기속도의 비교 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
진공펌프 종합특성 평가장치 구축 ; 정적형유량계를 이용한 저진공펌프의 성능평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
진공펌프 에너지 실시간 모니터링 시스템 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
반도체 공정의 배기계통 및 진공펌프 실시간 상태진단기술 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
공정현장 적응능력 평가를 위한 드라이펌프의 실시간 특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
진공의 측정 표준
한국진공학회 학술발표회초록집
1991 .07
건식 진공펌프에서의 소비전력과 펌프의 특성들의 상관관계 비교실험
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
저진공펌프 배기구의 압력 및 기하학적 형상 변화에 기인한 펌프성능변화 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .07
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