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이용수
ABSTRACT
1. 서론
2. 시스템 구성
3. 결론
참고문헌
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Chevron형의 열구동기가 집적화된 대변형 XY-마이크로스테이지
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2011 .06
FPGA 모듈을 이용한 Long Range AFM 용 다축 제어 프로그램 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2006 .05
Making 3G Global
TTA 저널
2004 .01
나노 임프린트 장비의 외란에 따른 변위 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2009 .05
동적 마스크 리소그래피를 이용한 하이드로젤 원자현미경 캔틸레버 제작
대한기계학회 춘추학술대회
2013 .12
초정밀 측정 장비를 위한 초정밀 나노스테이지 개발
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2009 .05
반도체 제조 장비용 Stage 정밀제어 기술개발
대한전기학회 학술대회 논문집
2000 .11
다축 초정밀 스테이지의 정밀 제어를 위한 유한요소해석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2010 .05
정밀가공에 사용되는 2축 스테이지의 모드형상 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2016 .05
초정밀 스테이지 개발을 위한 동역학 및 제어 시뮬레이션
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2013 .05
Global Energy
에너지협의회보
2002 .01
Global Communication
안전기술
2008 .01
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2008 .01
Global Communication
안전기술
2008 .01
초정밀 다축 위치제어장치 개발 및 보정에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2002 .10
초고속 고정밀 5축 가공기 개발
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2010 .04
유연힌지형 정밀 스테이지의 모델링 및 운동제어
한국기계가공학회지
2010 .12
초정밀 구동을 위한 6자유도 스테이지의 설계와 모델링
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2009 .06
초정밀 6자유도 스테이지의 모델링 및 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2008 .05
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