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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2013.12
- 수록면
- 2,240 - 2,243 (4page)
이용수
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This paper presents a novel method for fabricating hydrogel based microcantilevers by using a dynamic mask lithography setup constructed with a commercial beam projector, a 3-axis microstage and various modular optical components. A hydrogel, polyethyleneglycol diacrylate, was introduced between two parallel polydimethylsiloxane (PDMS) guides of which separation gap was controlled by the microstage and then cured with an intended shape and size defined by the dynamic mask. The upper PDMS guide has an inverted pyramid tip mold which defines the scanning tip after curing and the lower PDMS guide has an embedded rectangular glass piece which serves as a supporting handle for the microcantilever. Fabricated scanning tipintegrated hydrogel microcantilevers were thoroughly characterized and then successfully employed for both contact and non-contact atomic force microscopy for a calibration grating.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험장치 및 방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌
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