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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2002년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2002.10
수록면
206 - 209 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2004

친수성 고분자를 이용한 고정입자패드의 텅스텐 CMP
박범영 ,  김호윤 ,  김형재 외 2명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2004.07 학술저널

2003

고정입자패드를 이용한 텅스텐 CMP 개발 및 평가
박범영 ,  김호윤 ,  김구연 외 1명 한국기계가공학회지 2003.12 학술저널
Self-Conditioning을 이용한 고정입자패드의 텅스텐 CMP
박범영 ,  김호윤 ,  서헌덕 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2003.04 학술대회자료

2002

알루미나 고정입자패드를 이용한 텅스텐 CMP 특성 평가
박범영 ,  김호윤 ,  김형재 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2002.10 학술대회자료

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목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 고정입자패드
3. 고정입자패드의 텅스텐 CMP 적용
4. 결론
참고문헌

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대면적 유연 마이크로 패턴의 CMP 장비 개발
정해도 ,  김형재 ,  박재홍 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2014 .10

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-555-016874290