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자료유형
학술대회자료
저자정보
허정철 (한국과학기술연구원) 김광섭 (한국기계연구원) 김경웅 (한국과학기술연구원)
저널정보
한국트라이볼로지학회 한국트라이볼로지학회 학술대회 한국윤활학회 2009년도 제48회 춘계학술대회
발행연도
2009.6
수록면
40 - 46 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2011

나노임프린트용 UV 경화성 레진의 점착 특성에 미치는 공정 조건의 영향
허정철 ,  김경웅 ,  김광섭 한국트라이볼로지학회 학술대회 2011.04 학술대회자료

2010

나노임프린트용 UV 경화성 레진의 점착특성에 관한 연구
허정철 ,  김광섭 ,  김경웅 한국트라이볼로지학회 학술대회 2010.11 학술대회자료
나노임프린트 리소그래피용 UV 경화성 레진의 점착특성
허정철 ,  김광섭 ,  김경웅 한국트라이볼로지학회 학술대회 2010.06 학술대회자료

2009

UV-나노임프린트용 UV 경화성 레진의 응착 특성에 관한 연구
허정철 ,  김광섭 ,  김경웅 한국트라이볼로지학회 학술대회 2009.06 학술대회자료

초록· 키워드

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Adhesion tests were conducted to investigate the adhesion characteristics of UV curable resins for UV-nanoimprint lithography(UV-NIL) application. The UV curable resins used in the tests were AMO-NIL and MINS-UVP 50, and the counterpart was a fused silica lens. Adhesion tests were carried out by a specially designed adhesion force measurement system. In the tests, the UV curable resins spin-coated on Si wafer made contact with the fused silica lens. Then, UV was exposed. After the UV exposure, adhesion force between the UV curable resin and the fused silica lens was measured when the resin was separated from the lens. At the same time, the contact area between the UV curable resin and the fused silica lens was observed by a microscope and a CCD camera Adhesion forces for each UV curable resin were measured under various applied load and separation velocities. The res비st show that the adhesion force per unit area for AMO-NIL was larger than that for MINS-UVP 50. For both of UV curable resins, the adhesion forces per unit area did not depend on the applied load. The adhesion force per unit area increased with the increase of separation velocity for AMO-NIL.
#Adhesion(응착) #UV curable resin(UV 경화성 레진) #UV-nanoimprint lithography(UV-나노임프린트 리소그래피)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 실험
3. 실험 결과 및 고찰
4. 결론
후기
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