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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2006 춘계학술대회 논문집
발행연도
2006.5
수록면
34 - 39 (6page)

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This paper describes development of nano-machining system using focused-ion-beam which can make small features of micro size. The experimental result shows that the sample image can be varied with the ion current at the stage. In addition, we successfully obtain the better sample image when the pixel clock frequency of scan generator is 0.313㎒.
#Focused ion beam(집속이온빔) #Liquid Metal Ion Source(액체금속이온원) #Scan generator(스캔제너레이터) #Pixel clock frequency(픽셀클럭주파수) #Image(이미지)

목차

Abstract
1. 서론
2. 집속이온빔 가공장치의 설계 및 조립
3. 실험방법
4. 실험결과
5. 결론
후기
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