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대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제28권 제9호
발행연도
2004.9
수록면
1,270 - 1,275 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2004

나노프로브와 자기조립박막을 이용한 패터닝 기술
장원석 ,  김대은 ,  하동한 대한기계학회 춘추학술대회 2004.11 학술대회자료
펨토초레이저와 자기조립박막을 이용한 나노스케일 패터닝
장원석 ,  최무진 ,  김재구 외 2명 대한기계학회 논문집 A권 2004.09 학술저널

초록· 키워드

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Standard positive photoresist techniques were adapted to generate nano-scale patterns of gold substrate using self-assembled monolayers (SAMs) and femtosecond laser. SAMs formed by the adsorption of alkanethiols onto gold substrate are employed as very thin photoresists. Alkanethiolates formed by the adsorption of alkanethiols are oxidized on exposure to UV light in the presence of air to alkylsulfonates. Specifically, it is known that deep UV light of wavelength less than 200nm is necessary for oxidation to occur. In this study, ultrafast laser of wavelength 800nm and pulse width 200fs is applied for photolithography. Results show that ultrafast laser of visible range wavelength can replace deep UV laser source for photo patterning using thin organic films. Femtosecond laser coupled near-field scanning optical microscopy facilitates not only the patterning of surface chemical structure, but also the creation of three-dimensional nano-scale structures by combination with suitable etching methods.

목차

Abstract

1. 서론

2. Self-Assembled Monolayers

3. 패터닝 및 결과

4. 결론

후기

참고문헌

참고문헌 (8)

참고문헌 신청
[학술지(정기간행물)] - / 2002 / Nanoscale Molecular Patterning Fabricated by Using Scanning Near-Field Optical Lithography 124 : 2414 ~ 2415 google schola [학술지(정기간행물)] - / / http://www.zurich.ibm.com (Zurich Research Lab.) google schola [학술지(정기간행물)] - / 1999 / Formation of Alkanethiolate Self-Assembled Mono- layers on Oxidized Gold Surfaces 15 : 2414 ~ 2419 google schola [학술지(정기간행물)] - / 2001 / Oxidation of Self-Assembled Monolayers by UV Light with a Wavelength of 254 nm 123 : 4089 ~ 4090 google schola [학술지(정기간행물)] - / 1998 / Wettabilities of Self-Assembled Monolayers Generated from CF3-Terminated Alkanethiols on Gold 14 : 5821 ~ 5825 google schola

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