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이용수
1. 서론
2. 자기평형 공압 스테이지의 구조
3. 장치의 제작과 전사율 측정
4. 결론
후기
참고문헌
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대 면적 일괄전사를 위한 UV 임프린트장치 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2007 .06
나노 임프린트 장비응용 기능성 나노구조물 제작
대한기계학회 춘추학술대회
2006 .06
나노임프린트 리소그래피용 UV 경화성 레진의 점착특성
한국트라이볼로지학회 학술대회
2010 .06
나노임프린트용 UV 경화성 레진의 점착특성에 관한 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2010 .11
UV-oxidative Treatment of Bio-refractory Organic Halogens In Leachate: Comparison between UV/O3, UV/H2O2, and UV/H2O2/O3 Processes : Comparison between UV/O₃, UV/H₂O₂, and UV/H₂O₂/O₃ Processes
Environmental Engineering Research
2006 .04
대 면적 UV 임프린트장치의 가압 균일화에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2008 .06
Roll mold용 180㎚ 급 대면적 (300㎜ × 900㎜) 패턴 제작
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2020 .06
희생층과 UV 나노임프린트 리소그래피를 이용한 lift off 공정
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2014 .05
다중 디스펜싱 방법에 의한 UV-나노임프린트 리소그래피
제어로봇시스템학회 논문지
2004 .07
나노임프린트용 UV 경화성 레진의 점착 특성에 미치는 공정 조건의 영향
한국트라이볼로지학회 학술대회
2011 .04
대면적 LCD 용 UV 임프린트 장비 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2009 .10
UV-ILP 기반의 아크릴 레진을 통한 다양한 패턴 필름의 제작과 표면특성
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2020 .06
Multi-dispensing 방법에 의한 UV-나노임프린트 리소그래피 기술
한국유변학회 학술발표회
2003 .01
UV 나노임프린트 리소그래피용 UV 투과성 나노스탬프 제작
대한기계학회 춘추학술대회
2003 .04
UV-NIL 공정용 소형 나노 패턴 전사 시스템에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2014 .10
UV 나노임프린트를 위한 UV 경화성 수지의 경화 모델 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2004 .05
UV-NIL 공정의 기포 결함 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2012 .04
UV-나노임프린트용 UV 경화성 레진의 응착 특성에 관한 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2009 .06
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