Nanoimprint Lithography 기술의 이해

강신일

전자공학회지

2006 .04

The UV-Nanoimprint Lithography with Multi-head Nanoimprinting Unit for Sub-50nm Half-pitch Patterns

Jae-Jong Lee ,  Kee-Bong Choi ,  Gee-Hong Kim 외 2명

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2006 .10

Contact Pressure Analysis of Nanoimprint Lithography for Roll Mold Fabrication

Hyungjun Lim ,  Jaejong Lee ,  Kee-bong Choi 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2012 .10

Fabrication of Nanoscale Patterns by Nanoimprint Lithography and Their Applications

정건영

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2009 .10

레지스트 조건에 따른 나노임프린트 Filling 현상

류지형 ,  이재종 ,  정상현

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2010 .05

Fabrication of Low-cost nanoimprint Mold Using Nanosphere Lithography

Geun-Hee Jeong ,  Jung-Kab Pa ,  k 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Fabrication of functional ZnO nano-structures for optical devices by UV nanoimprint lithography

Han‐Byeol Jo ,  Kyeong‐Jae Byeon ,  Heon Lee

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .11

Fabrication of Silicon Nanowire Pattern Using Nanoimprint Lithography as a Platform of Nanobiochip

Dong-Sik CHOI ,  Jin-Ho LEE ,  Jeong-Woo CHOI 외 1명

한국생물공학회 학술대회

2009 .04

대면적 롤 나노임프린트 리소그래피 시스템 기술

임형준 ,  정상희 ,  이상욱 외 5명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2015 .04

Fabrication of Silicon on Insulator (SOI) Nanowire Pattern Using Nanoimprint Lithography for the Application to Bioelectronic

D. S. Choi ,  J. H. Lee ,  D. Y. Kang 외 4명

한국생물공학회 학술대회

2008 .10

Roll mold용 180㎚ 급 대면적 (300㎜ × 900㎜) 패턴 제작

최수현 ,  김우영 ,  김석 외 1명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2020 .06

Highly sensitive plasmonic biosensor by using Au nanodot array based on UV Nanoimprint lithography

na ,  ae JO ,  yong-beom SHIN

한국생물공학회 학술대회

2014 .10

나노임프린트 리소그래피를 위한 스케일 다운된 산화막 스탬프제작과 패턴결함 개선에 관한 연구

박형석 ,  최우범 ,  성만영

전기전자재료학회논문지

2006 .01

Fabrication of functional nano-structures using nanoimprint lithography and its application to photonic devices

Heon Lee

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2015 .04

나노 임프린트 장비응용 기능성 나노구조물 제작

이재종 ,  최기봉 ,  김기홍 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2006 .06

FEM 기반 결함 분석을 이용한 나노임프린트 공정 연구

송남호 ,  손지원 ,  임성한 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2007 .06

유연기판을 위한 UV/Thermal 하이브리드방식 나노임프린트 시스템

임형준 ,  이재종 ,  최기봉 외 3명

한국생산제조학회지

2011 .06

유연기판을 위한 UV/Thermal 하이브리드방식 나노임프린트 시스템

임형준 ,  이재종 ,  최기봉 외 3명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2011 .04

양면 열-나노임프린트를 이용한 극저반사 필름 제조

심영보 ,  여나은 ,  조상욱 외 4명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

Large-area fabrication of ZnO nanostructure using direct nanoimprint lithography for its application to field effect transistors

이지혜 ,  이원석 ,  김사라 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2011 .04