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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- Korean Society for Precision Engineering International Journal of Precision Engineering and Manufacturing International Journal of Precision Engineering and Manufacturing Vol.8 No.2
- 발행연도
- 2007.4
- 수록면
- 49 - 53 (5page)
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In this study, we investigated experimentally the potential of a planer positioning mechanism with three degrees of freedom using a flexure guide and an electromagnetic linear motor. The goal was to produce a multi-axis positioning system with nanometric resolution over a 1-㎜ stroke. An X-Y-θ stage was designed based on previous results from a single-axis prototype and was constructed with a flexure guide mechanism and voice coil motor type linear actuators. We examined the necessity of a driving method and control system to ensure high resolution for multi-axis positioning. Experiments were conducted to evaluate the performance, and the results confirmed the mechanism's potential: fine point-to-point (PTP) positioning was achieved over a 1-㎜ stroke, with a resolution of 2 ㎚ for translation in X- Y and 0.01 asec for yaw in θ.
목차
1. Introduction
2. Positioning Mechanism
3. Driving Method and Control System
4. Experiments with PTP Positioning Performance
5. Strategies for controlling CP motion
6. Conclusions
REFERENCES
참고문헌 (5)
참고문헌 신청
, 2000 , Present and Future Technology of Ultraprecision Positioning (system) : 658 ~ 663
, , Decoupling Method of Ultraprecision Stage Using Parallel Linkage
, 2002 , Ultra-precise Positioning with Nanometric Resolution Over A One-Millimeter Stroke Using Flexure Guide And Electromagnetic Linear Motor 2 : 171 ~ 174
, 1994 , Foundation of Ultraprecision Mechanism Design
, 2006 , Sensor and Actuator Consideration for Precision 30 (3) : 245 ~ 264
, , Decoupling Method of Ultraprecision Stage Using Parallel Linkage
, 2002 , Ultra-precise Positioning with Nanometric Resolution Over A One-Millimeter Stroke Using Flexure Guide And Electromagnetic Linear Motor 2 : 171 ~ 174
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, 2006 , Sensor and Actuator Consideration for Precision 30 (3) : 245 ~ 264
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