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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2006년도 춘계학술대회 논문요약집
발행연도
2006.5
수록면
151 - 152 (2page)

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Nowadays, great attention has been shown to the question of ultrasonic linear motor for accomplishing the high positioning accuracy and high driving force in the semiconductor and optical industry. Ultrasonic linear motors have many advantages such as simple structure, quick response, ability to maintain positi ... 전체 초록 보기
#Ultra sonic linear motor #Bolt clamped Langevin-type transducer #Resonance frequency #PZT

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 모터의 구성과 작동 원리
3. 모터 특성
4. PID 피드백 제어 시스템
5. 결론
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