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Korean Society for Precision Engineering International Journal of Precision Engineering and Manufacturing International Journal of Precision Engineering and Manufacturing Vol.8 No.2
발행연도
2007.4
수록면
44 - 48 (5page)

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In recent years, the size of plane substrates and semiconductor wafers has increased. As conventional contact transportation systems composed of, for example, carrier rollers, belt conveyers, and robot hands carry these longer and wider substrates, the increased weight results in increased potential for fracture. A noncontact transportation system is required to solve this problem. We propose a new noncontact transportation system combining acoustic viscous and aerostatic forces to provide damage-free transport. In this system, substrates are supported by aerostatic force and transported by acoustic viscous streaming induced by traveling wave deformation of a disk-type stator. A ring-type piezoelectric transducer bonded on the stator excites vibration. A stator with a high Q piezoelectric transducer can generate traveling vibrations with amplitude of 3.2 ㎛. Prior to constructing a carrying road for substrates, we clarified the basic properties of this technique and stator vibration characteristics experimentally. We constructed the experimental equipment using a rotational disk with a 95-㎜ diameter. Electric power was 70 Wat an input voltage of 200 Vpp. A rotational torque of 8.5 × 10-? Nm was obtained when clearance between the stator and disk was 120 ㎛. Finally, we constructed a noncontact transport apparatus for polycrystalline silicon wafers (150(W) × 150(L) × 0.3(t)), producing a carrying speed of 59.2 ㎜/s at a clearance of 0.3 ㎜ between the stator and wafer. The carrying force when four stators acted on the wafer was 2 × 10-³ N. Thus, the new noncontact transportation system was demonstrated to be effective.
#Acoustic radiation #Noncontact transportation #Squeeze effect #Ultrasonic motor #Viscous flow

목차

1. Introduction
2. Principles of Noncontact Transport
3. Disk Rotation Test
4. Construction of the Carrying Road
5. Conclusions
ACKNOWLEDGEMENTS
REFERENCES

참고문헌 (5)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - / 1996 / Direct Electrostatic Levitation and Propulsion of Silicon Wafer google schola 2. [학술지(정기간행물)] - / 1997 / An Analysis of a Noncontact Ultrasonic Motor with an Ultrasonically Levitated Rotor 35 : 459 ~ 467 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - / 1995 / Analysis of an Ultrasonic Motor Driving Fluid Directly 34 : 2702 ~ 2706 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - / 1999 / Simplification of a Non-contact High Speed Ultrasonic Motor with a Levitated Rotor : 21 ~ 26 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - / 1995 / Acoustic Levitation of Planae Objects Using a Longitudinal Vibration Mode 16 (3) : 189 ~ 192 google schola

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