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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
Korean Society for Precision Engineering International Journal of Precision Engineering and Manufacturing International Journal of Precision Engineering and Manufacturing Vol.8 No.2
발행연도
2007.4
수록면
32 - 37 (6page)

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This paper proposes a dual-mode ultraprecision positioning system for machine tools and measuring machines. The objective was to position a machine table with a picometer order of resolution, i.e., pico-positioning. A twistroller friction drive (TFD) was used in coarse-mode positioning. The TFD, which was driven by an AC servomotor, is a kind of lead screw in mechanical terms, and several centimeters of machine table movement was controlled with a nanometer order of positioning resolution. To eliminate lateral vibration caused by the TFD, an active aerostatic coupling driven by piezoelectric actuators was inserted between the TFD and the machine table. This active aerostatic coupling was also applied as a feed drive device for fine-mode positioning; in the fine mode, the positioning resolution was 50 pm. Factors influencing pico-positioning, such as how noise from displacement sensors and vibrations in the aerostatic guideway affect positioning resolution, are discussed.
#Active control #Aerostatic coupling #Aerostatic lubrication #Friction drive #Machine tool #Piezoelectric actuator #Positioning

목차

1. Introduction
2. Dual-Mode Pico-positioning System
3. Positioning in the Coarse Mode
4. Ultraprecision Positioning in the Fine Mode
5. Conclusions
ACKNOWLEDGEMENTS
REFERENCES

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