FIB 밀링을 이용한 나노스텐실 제작

김규만; 정성일; 오현석

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김규만 정성일 오현석

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2004년도 추계학술대회 논문요약집

발행연도: 2004.10

수록면: 64 - 67 (4page)

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2006

FIB 밀링을 이용한 나노스텐실 제작 및 나노패터닝

김규만 , 정성일 , 오현석 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2006.03 학술저널

2005

나노스텐실 제작을 위한 FIB 밀링 특성

김규만 , 정성일 , 오현석 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2005.10 학술대회자료

2004

FIB 밀링을 이용한 나노스텐실 제작

김규만 , 정성일 , 오현석 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2004.10 학술대회자료

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Fabrication of a high-resolution shadow mask, or called nanostencil, is presented. This high-resolution shadowmask is fabricated by a combination of MEMS processes and focused ion beam (FIB) milling. 500 ㎚ thick and 2x2 mm large membranes are made on a silicon wafer by micro-fabrication processes of LPCVD, photolithography, ICP etching and bulk silicon etching. Subsequent FIB milling enabled local membrane thinning and aperture making into the thinned silicon nitride membrane. Due to high resolution of FIB milling process, nanoscale apertures down to 70 ㎚ could be made into the membrane.

#Shadow mask(샤도우마스크) #nanostencil(나노스텐실) #Focused ion beam(집속이온빔) #Evaporation(기화증착) #nanolithography(나노리소그라피)

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김규만

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주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 0.5% 공학 > 기계공학 > 항공우주공학

논문수 205 이용수 12,946

Sung-il Chung

소속기관 한국전기연구원

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 47 이용수 2,923

오현석

소속기관 광주과학기술원

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 0.5% 공학 > 기계공학 > 자동차공학

논문수 150 이용수 14,416

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