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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2006년도 춘계학술대회 논문요약집
발행연도
2006.5
수록면
143 - 144 (2page)

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In this paper, we proposed XP KMPR-1050 negative tone resist to replace SU-8 resist for multi-layer microstructures and thick plating mold fabrication using UV-LIGA process. XP KMPR resist proposed in this paper can be easily striped using a common stripping solution such as NMP without damage of micro-structure. The conditions for the fabric^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE00846189');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#
#UV-LIGA #KMPR #SU-8 #MEMS #Ni electroplating(니켈 전해도금) #Micro-structure(미세구조물) #Micro-mold(미세금형) #High aspect ratio(고종횡비)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
후기
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