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대한전기학회 전기학회논문지 電氣學會論文誌 第47卷 第10號
발행연도
1998.10
수록면
1,786 - 1,791 (6page)

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목차

Abstract
1. 서론
2. LIGA-like 공정
3. 제작 결과 및 측정
5. 결론 및 고찰
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