광조형법과 UV포토리소그래피를 이용한 웨이브 마이크로펌프 미세 채널 제작

노병국; 김우식; 심광보

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자료유형: 학술저널

저자정보: 노병국 김우식 심광보

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.24 No.12

발행연도: 2007.12

수록면: 128 - 135 (8page)

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Micro-channels for a wave micropump have been fabricated using the Stereo lithography and UV Photolithography. The micro-channel with a channel height of 500 ㎛ was fabricated with stereo lithography. UV photolithography was used for producing micro-channels with a channel length less than 100 ㎛. The fabrication process data including spinning rpm, pre-bake and post-bake time, and develop time for single layer and multiple layer 3D micro-structures using SU-8 photo resist are experimentally found. A film mask printed with a 40,000 dpi laser printer was used for UV lithography and micro-structures in the order of tens of micrometers in dimension were successfully fabricated.

#Micro-channel(마이크로채널) #Micropump(마이크로펌프) #Stereo lithography(광조형법) #UV Photolithography(자외선리소그래피) #SU-8 Photo Resist(SU-8 포토레지스트)

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