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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
황완식 (한국항공대학교 항공재료공학과) 박준식 (전자부품연구원) 강영철 (전자부품연구원) 조진우 (전자부품연구원) 박순섭 (전자부품연구원) 이인규 (한국항공대학교 항공재료공학과) 강성군 (한양대학교 재료공학과)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제13권 제1호
발행연도
2003.1
수록면
6 - 10 (5page)

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Electroplated Ni and Ni-W micro-molds using LIGA-like process for replication of micro-components such as microfluidic parts and micro optical parts have been investigated. In general, it is hard to produce micro-parts using conventional mechanical processes. Micro-mold formed by LIGA-like process could fabricate micro-parts with high aspect ratio. In this paper, fabrication and properties of electroplated Ni molds with varying applied current types as well as those of Ni-W molds were investigated. Ni molds fabricated under pulse-reverse current showed the highest hardness value of about 160 Hv. Ni-W molds showed the hardness of about 500 Hv which was much harder than that of Ni electroplated molds. The above results suggested that high quality micro-molds could be fabricated by using Ni electroplating of pulse-reverse type for core molds and sequential Ni-W alloys coating.
#Micro-mold #Ni electroplating #Ni-W electroplating #replication process

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