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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2006년도 춘계학술대회 논문요약집
발행연도
2006.5
수록면
31 - 32 (2page)

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A signal conditioning circuit for capacitive sensors was developed using a commercial single chip solution. Since capacitive displacement sensors can achieve high resolution and linearity, they have been widely used as precision sensors within the range of several hundred micrometers. However, they inherently have a limitation in low frequency range and some nonlinearity characteristics and so a specially designed signal conditioning circuit is needed to handle these properties. Up to now, several companies already have succeeded in the development of the capacitive sensors system and they are commercially available in the mar ... 전체 초록 보기
#Capacitive displacement sensor(정전용량형 변위 센서) #Laser interferometer(레이저 간섭계) #Nanoscanner(나노스캐너)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 측정 원리
3. 실험
4. 결론
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