빗살전극형 정전용량형 습도센서와 그 신호처리회로의 설계 제작

姜正浩; 李在容; 金佑鉉

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자료유형: 학술저널

저자정보: 姜正浩李在容金佑鉉

저널정보: 대한전기학회 전기학회논문지 P 전기학회논문지 제55P권 제1호

발행연도: 2006.3

수록면: 26 - 30 (5page)

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For the purpose of developing capacitive humidity sensor having interdigital electrodes, interdigital electrode was modeled and simulated to obtain capacitance and sensitivity as a function of geometric parameters like the structural gap and thickness. For the development of ASIC, switched capacitor signal processing circuits for capacitive humidity sensor were designed and simulated by Cadence using 0.25㎛ CMOS process parameters. The signal processing circuits are composed of amplifier for voltage gain control, and clock generator for sensor driving and switch control. The characteristics of the fabricated sensors are; 1) sensitivity is 9fF/%R.H., 2) temperature coefficient of offset(TCO) is 0.4%R.H./℃, 3) nonlinearity is 1.2%FS, 4) hysteresis is 1.5%FS in humidity range of 3%R.H.~98%R.H.. The response time is 50 seconds in adsorption and 70 seconds in desorption. Fabricated process used in this capacitive humidity sensor having interdigital electrode are just as similar as conventional IC process technology. Therefore this can be easily mass produced with low cost, simple circuit and utilized in many applications for both industrial and environmental measurement and control system, such as monitoring system of environment, automobile, displayer, IC process room, and laboratory etc..

#Capacitive #Interdigital #Humidity Sensor #signal Processing #ASIC

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[학술지(정기간행물)] - / 1996 / A model for the relative environmental stability of a series of polyimide capacitance humidity sensors : 343 ~ 348

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