메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
저널정보
한국전산유체공학회 한국전산유체공학회 학술대회논문집 한국전산유체공학회 학술대회논문집 2007년도 춘계
발행연도
2007.4
수록면
153 - 158 (6page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

이 논문의 연구 히스토리 (3)

2016

히트 파이프를 이용한 열경화성 나노임프린트 장비용 열판의 온도 균일도 향상
박규진 ,  양진오 ,  이재종 외 1명 반도체디스플레이기술학회지 2016.01 학술저널

2007

히트 파이프를 이용한 나노임프린트용 대면적 핫플레이트의 온도 균일화 방안
박규진 ,  양진오 ,  곽호상 외 1명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2007.05 학술대회자료
고온 나노임프린트 장비용 핫플레이트의 열제어에 대한 수치모사
박규진 ,  곽호상 ,  신동원 외 1명 한국전산유체공학회 학술대회논문집 2007.04 학술대회자료

초록· 키워드

오류제보하기
Since the introduction of Nanoimprint in the mid-1990s, Nanoimprint lithography, a low-cost, non-convential. method, has been the dominant lithography technology that guarantees high-throughput patterning of nanostructures. Based on the mechanical embossing mechanism, Nanoimprint lithography creates the nanopalterns on the polymer material cast on the substrate. In essence, the process needs nanofabrication equipment for printing with the adequate control of temperature, pressure and control of parallels of the stamp and substrate. This article introduce the possibility and reality of the thermal control on the hot plate using a CFD code. Numerical computation has been conducted for assessing the feasibility of a hot plate(l20×120 ㎜2). PID control is adopted to ensure high temperature uniformity in several zones. Parallel experiments have also been performed for verifying thermal performance. Not only show the results the optimum number of thermocouples related to controllers but also suggest that the thermal simulation using a CFD code would be an alternative method to design and develop the thermal control equipment in the financial aspect.
#열판(Hot plate) #고온 엠보싱(Hot embosing) #극초 미세 식각(Nanoimprint lithography)

목차

1. 서론
2. 실험 장비
3. 열판의 열응답 특성
4. 결론
참고문헌

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

나노임프린트와 수열성장법을 이용한 인공 초소수성 표면 제조
최학종 ,  조한별 ,  신주현 외 1명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2012 .04
다층 나노임프린트 리소그래피를 위한 스탬프와 기판의 각도보상 메커니즘
임형준 ,  이재종 ,  최기봉 외 1명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2011 .10
나노임프린트 공정용 UV 경화성 레진의 접합 특성에 대한 이형 첨가제의 영향
김광섭 ,  송선아 ,  최대근 외 4명 한국트라이볼로지학회 학술대회 2010 .06
대 면적 UV 임프린트장치의 가압 균일화에 관한 연구
김주현 ,  김광 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2008 .06
다중스케일 모델링을 이용한 나노임프린트 리소그라피 전산모사
권성진 ,  강지원 ,  김성엽 외 3명 대한기계학회 춘추학술대회 2007 .10

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-422-016602489