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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2007 춘계학술대회 논문집
발행연도
2007.5
수록면
74 - 79 (6page)

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2016

히트 파이프를 이용한 열경화성 나노임프린트 장비용 열판의 온도 균일도 향상
박규진 ,  양진오 ,  이재종 외 1명 반도체디스플레이기술학회지 2016.01 학술저널

2007

히트 파이프를 이용한 나노임프린트용 대면적 핫플레이트의 온도 균일화 방안
박규진 ,  양진오 ,  곽호상 외 1명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2007.05 학술대회자료
고온 나노임프린트 장비용 핫플레이트의 열제어에 대한 수치모사
박규진 ,  곽호상 ,  신동원 외 1명 한국전산유체공학회 학술대회논문집 2007.04 학술대회자료

초록· 키워드

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A numerical investigation is made of thermal control of a hot plate device specially designed for thermal nanoimprint lithography. The technical requirements for this hot plate are rapid heating capability and high temperature uniformity together with strength against high stamping pressure. In order to satisfy these requirements, design of precise thermal control scheme is essential. In this study, a numerical experiment is conducted to simulate unsteady thermal behaviour of hot plate under control. This article introduce the possibility and reality of the thermal control on the hot plate using a CFD code. Heat pipes is used to ensure high temperature uniformity. Parallel Numerical computations are conducted for assessing the feasibility of the hot plate(240×240㎟) equipped with a series of parallel cartridge heaters and heat pipes. The optimal thermal design is attempted numerically.
#Hot Plate(열판) #Nanoimprint(극초미세 식각) #Thermal control(열제어) #Numerical simulation(수치모사)

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험 장비
3. 열판의 열응답 특성 해석
4. 결론
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