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한국자기학회 한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집 한국자기학회 2006년도 임시총회 및 하계학술연구발표회 논문개요집 (제16권 1호)
발행연도
2006.6
수록면
146 - 147 (2page)

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어레이형 맥진기 센서 개발을 위해 초고진공 이온빔 스퍼터링 증착장비로부터 Glass/Ta(5)/NiFe(10)/Cu(2.6)/NiFe(7)/FeMn(10)/Ta(5) (mn) 스핀밸브 박막을 제작하였다. 다층박막 시료를 광-리소그래피 하여 최적화된 2×6 ㎛² 미세 활성영역을 패터닝 하였다. Cu를 증착하여 만든 4단자 전극법으로 측정한 자성특성은 5 Oe 근방에서 가장 민감한 자기저항비 자장감응도와 출력 전압들은 각각 0.5%/Oe, △V = 0.1 ㎷ 이었다. 형상자기이방성이 적용된 하부 자유층 NiFe ... 전체 초록 보기

목차

1. 초록
2. 실험결과 및 논의

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