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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국자기학회 한국자기학회지 한국자기학회지 제17권 제4호
발행연도
2007.8
수록면
156 - 161 (6page)

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어레이(array) 자성센서 개발을 위해 고진공 스퍼터링 증착장비를 이용하여 스펙큘러형(specular type) Glass/Ta(5)/NiFe(7)/IrMn(10)/NiFe(5)/O₂/CoFe(5)/Cu(2.6)/CoFe(5)/O₂/NiFe(7)/Ta(5)(㎚) 거대자기저항-스핀밸브(giant magnetoresistive-spin valves; GMR-SV) 박막을 제작하였다. 다층박막 시료를 20 × 80 ㎛²의 미세 활성영역을 가진 15개 어레이를 8 ×8 ㎟ 영역 내에 최적화한 제작 조건으로 광 리소그래피 패터닝 하였다. Cu를 증착하여 만든 2단자 전극법으로 측정한 자성특성은 15개 모든 소자들이 균일한 자기저항특성을 나타내었고, 5 Oe 근방에서 가장 민감한 자기저항비 자장민감도와 출력전압들은 각각 0.5 %/Oe, ?V = 3.9 ㎷이었다. 형상자기이방성이 적용된 상부 자유층 CoFe/O₂/NiFe층은 하부 고정 자성층 IrMn/NiFe/O₂/CoFe층 자화 용이축과 직교하였다. 측정시 인가전류 값을 각각 1 ㎃에서 10 ㎃까지 인가하였을 때 출력 작동 전압 값은 균일하게 증가하였으며, 자장감응도도 거의 일정하여 미세 외부자장에 민감한 나노자성소자로서 좋은 특성을 띠었다.
#어레이 자성센서 #거대자기저항-스핀밸브 #2단자 전극법 #자장민감도 #변위 변동센서 #array magnetic sensor #gaint magnetoresistive-spin valve(GMR-SV) #2-probe method #magnetic sensitivity #displacement change sensor

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험 방법
Ⅲ. 실험결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
감사의 글
참고문헌

참고문헌 (1)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - S. D. Choi / 2007 / Magn, Maters google schola

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