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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국자기학회 한국자기학회지 한국자기학회지 제11권 제4호
발행연도
2001.8
수록면
146 - 150 (5page)

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스퍼터 증착시 수소 첨가가 NiFe/FeMn의 교환결합 자계(Hex)에 미치는 영향에 대하여 연구하였다. Si(100)/Ta(50 Å)/NiFe(60 Å)/FeMn(250 Å)/Ta(50 Å)의 경우는 하지층 NiFe 증착시 수소 첨가량이 8%에서 Hex과 Hc 최적 특성을 보였다. Si(100)/Ta(50 Å)/NiFe(60 Å)/FeMn(250 Å)/NiFe(70 Å)/Ta(50 Å) 시편에서 FeMn 증착 시에는 5% 수소 혼합개스에서 Hex가 148 Oe로서 최적 특성을 보였다. 이는 수소 첨가에 의해 하지층 NiFe의 (111) 우선배향성 향상, 결정립 크기의 증가 및 응력이 감소하였으며 그에 따라 FeMn의 (111) 우선 배향성 및 결정립의 크기가 증가한 결과이다.

목차

국문초록

Ⅰ. 서론

Ⅱ. 실험방법

Ⅲ. 결과 및 고찰

Ⅳ. 결론

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Abstract

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