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Applications of Plasma Modeling for Semiconductor Industry
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
디스플레이 공정용 유도 결합형 플라스마 시스템에서의 전자기적 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
대기압 저온 플라스마에 의한 산화 주석 박막의 식각
Applied Science and Convergence Technology
2001 .12
차세대 리소그래피 빛샘 발생을 위한 플라스마 집속 장치의 제작과 아르곤 아크 플라스마의 발생에 따른 회로 분석 및 전기 광학적 특성 연구
Applied Science and Convergence Technology
2006 .07
My Experience on semiconductor processing plasma sources
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
Wire - Cylinder형 반응로에서의 코로나 방전 플라스마의 특성 연구
Applied Science and Convergence Technology
2004 .09
차세대 리소그래피 빛샘 발생을 위한 플라스마 집속장치의 아르곤 아크 플라스마의 방출 스펙트럼 진단
Applied Science and Convergence Technology
2006 .11
AM-LCD 소자 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
A high performance MIM LCDs for AM - LCDs
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .07
PDP/EUV 플라스마 소스특성 및 진단기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
Enhancement of the Virtual Metrology Performance for Plasma-assisted Processes by Using Plasma Information (PI) Parameters
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
PLASMA GENERATION IN A HIGH - TEMPERATURE GAS
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
Plasma Display Panel의 제조기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
Effect of hybrid plasma source on O radical generation in oxygen plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
AC-PDP에서 방전 가스에 따른 플라스마 밀도 및 전자온도
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .08
다구찌 방법을 이용한 BGA 현상 공정용 수직 습식 장비의 공정 최적화
Applied Science and Convergence Technology
2009 .07
AC - PDP에서 방전 시간에 따른 플라스마 밀도 및 전자온도의 변화특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .02
CFD-Plasma & K-Plasma를 이용한 plasma simulation
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
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