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Review of Plasma Sources
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
Applications of Plasma Modeling for Semiconductor Industry
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
Numerical modeling for large area plasma source for materials processing
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Enhancement of the Virtual Metrology Performance for Plasma-assisted Processes by Using Plasma Information (PI) Parameters
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
Effect of hybrid plasma source on O radical generation in oxygen plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
CFD-Plasma & K-Plasma를 이용한 plasma simulation
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
3D feature profile simulation for nanoscale semiconductor plasma processing
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
Development of the DC-RF Hybrid Plasma Source
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
Recent Development of Semiconductor Process Simulation with Monte Carlo Plasma Modelling
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
낮은 GWP를 가진 CxF2xO 을 이용한 SiO2 식각 공정 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
Plasma impedance matching technique for bio plasma RF source
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Oxide 및 Nitride 고선택비 식각 공정에서의 CF4(CHF3)/O2/Ar inductively coupled pulsed plasmas
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
Plasma-induced reaction at plasma-liquid and plasma-polymeric film interface by AC-driven atmospheric pressure plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
Flexible Plasma Sheets
Applied Science and Convergence Technology
2018 .03
Characteristics of Nonthermal Plasma Source in Various Liquids
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
Plasma Source Ion Implantation using High Power Pulsed RF Plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
Modeling of Inductively Coupled High Density Plasma Processes for the Fabrication of Semiconductor Devices
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
반도체 및 디스플레이 산업 플라즈마 측정 진단 기술
진공이야기
2018 .12
Plasma Properties Data Center Activities for Plasma Application in the National Fusion Research Institute
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
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