지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
등록된 정보가 없습니다.
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
Control of spatial distribution of plasma density by the variable capacitor in a capacitively coupled plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
2D GPU-PIC을 이용한 Capacitively Coupled Plasma 장비 내에서 발생하는 Micro-arc 현상 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
Microtrenching of SiO₂ contact hole etching in C₄F8/Ar capacitively coupled plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
Quantitative analysis of silicone fluid by inductively coupled plasma-optical emission spectroscopy
한국분석과학회 학술대회
2016 .11
Study of Nitrogen Plasma Treatment on Indium Tin Oxide Thin Films
새물리
2020 .01
Characterization of SiO₂ Over Poly-Si Mask Etching in Ar/C₄F8 Capacitively Coupled Plasma
Applied Science and Convergence Technology
2021 .11
Study on the electrical and optical diagnosis of electron temperatures according to conditions of plasma emission light intensity in inductively coupled plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Inductively Coupled Plasma Simulation Based on Electron Energy Distribution Function and Process Pressure
Applied Science and Convergence Technology
2020 .11
Initial Study of Electron Temperature and Density Simulation on Capacitively Coupled RF He Plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
Sensitivity Enhancement of Fault Detection in Plasma Etching Processes using Optical Emission Spectroscopy with Multivariate Analysis
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
Development of process plasma diagnosis and control system using plasma emission light diagnostics
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Correlation Analysis of Plasma Properties and Film Properties using Optical Emission Spectroscopy in Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Processes of Silicon Nitride
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
Enhancement of the Virtual Metrology Performance for Plasma-assisted Processes by Using Plasma Information (PI) Parameters
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
플라즈마 환경에서 세라믹 소재의 위치에 따른 챔버벽 재증착에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
Characteristics of SiO₂ Etching in a C4F8/Ar/O₂ pulse modulation capacitively coupled plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
Diagnostics of light emission using plasma speckle pattern
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
낮은 GWP를 가진 CxF2xO 을 이용한 SiO2 식각 공정 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
Research on the applicability of argon discharge global model independent of plasma source type
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
Plasma Etching of Parylene and SU-8 Polymer in Capacitively Coupled O₂ Plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
Correlation Study between Optical Emission Spectroscopy Signals and Silicon Nitride Film Properties in Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Processes
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
0