원자층증착법으로 성장시킨 알루미늄 실리케이트 박막의 특성

임정욱; 윤선진; 이진호

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저자정보: 임정욱 윤선진 이진호

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제29회 학술발표회 초록집

발행연도: 2005.8

수록면: 81 - 81 (1page)

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이진호

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