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한국기계가공학회 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 한국기계가공학회 2005년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2005.11
수록면
76 - 81 (6page)

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A stage used in many ultra precision system could receive enough accuracy by micrometer when size of measured-object does not require accuracy of high level. But, system that have higher precision level by Nono-technology's development was need and requirement of nano-stage rose. The performances and characteristics of nano-scale motion stage are determined by various factors such as hinge structures, an actuator, a system control method etc. Therefore, the object of this study is to understand effects of hinge structures on the behavior characteristics of nano-scale motion stage. Nano-stages with three types of hinge structures of a leafspring joint, a planar joint and a coupled-joint of two joints were manufactured and measured. We used PZTs that change electrical signal to mechanical signal without any equipment and have fast response time. As the results, the coupled-joint stage with a leafspring joint and a planar joint has good performances in terms of a displacement, accuracy, vibration and response time.

목차

ABSTRACT

1. 서론

2. 실험장치 및 스테이지 제작

3. 스테이지 거동 측정

4. 결론

참고문헌

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