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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2002.5
- 수록면
- 166 - 169 (4page)
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High temperature Kermal diffusion from POCl₃ source usually used for conventional process through put of a cell manufacturing line and potentially reduce cell efficiency through bulk like time degradation. To fabricate high efficiency solar cells with minimal thermal processing, spin-on-doping(SOD) technique can be employed to emitter diffusion of a silicon solar cell.
A technique is presented to emitter doping of a mono-crystalline solar cell using spin-on doping(SOD). Moreover it is shown that the sheet resistance variation with RTA temperature and time fer mono-crystalline and multi-crystalline silicon samples. This novel SOD technique was successfully used to produces 11.3% efficiency 104㎜ by 104㎜ size mono-crystalline silicon solar cells.
A technique is presented to emitter doping of a mono-crystalline solar cell using spin-on doping(SOD). Moreover it is shown that the sheet resistance variation with RTA temperature and time fer mono-crystalline and multi-crystalline silicon samples. This novel SOD technique was successfully used to produces 11.3% efficiency 104㎜ by 104㎜ size mono-crystalline silicon solar cells.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 결과 및 토의
4. 결론
참고문헌
참고문헌 (0)
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