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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제26권 제5호
발행연도
2013.1
수록면
410 - 414 (5page)

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급속 열처리 공정은 태양 전지 공정에 요구되는 시간을 감소시켜 준다. 급속 열처리 공정은 결정질 실리콘 태양전지 에미터 형성에 사용된다. 에미터 면저항은 시간과 온도의 기능의 따라 달라진다. 본 연구의 목표는 에미터가 같은 기능을 가지면서 도핑 공정 시간을 감소시키는데 있다. 에미터 확산은 Spin on doping과 급속 열처리 공정으로 수행하였다. 급속 열 확산은 700-750℃에서 1분 30초-15분의 범위에서 수행하였다. P509 소스로 50 Ω/sq 공정을 수행하였다.

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