Depth Profiling에서 Sputtering Rate의 영향

김주광 ,  성인복 ,  김태준 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

2003 .09

TOF-SIMS Depth profile의 Sputtering rate를 통한 재질 연구

홍주익 ,  김지수 ,  이석열 외 2명

한국분석과학회 학술대회

2008 .11

A study of sputter XPS depth profiling of Ta₂O5 / Si without preferential sputtering problems.

김경중 ,  문대원

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

고 농도 대역에 Pre-Sputtering 방법 적용을 통한 High Dynamic Range SIMS Depth Profiling 구현

박상원 ,  김종훈 ,  고중규 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08

The transient sputtering yield change of an amorphous Si layer by low energy O₂+ and Ar+ ion bombardment

Hye Chung Shin ,  Hee Jae Kang ,  Hyung Ik Lee 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

2003 .10

Conversion from SIMS depth profiling to compositional depth profiling of multi-layer films

Jong Shik Jang ,  Hye Hyen Hwang ,  Hee Jae Kang 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

Magnetron Sputtering Technology의 연구 및 개발 방향에 대한 동향

박장식

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Diagnostics of Magnetron Sputtering Plasmas : Distributions of Density and Velocity of Sputtered Metal Atoms

Koichi Sasaki

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Experimental and Theoretical Depth Resolution Functions in AES Depth Profiling

Siegfiied Hofmann

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

표면분석용 인증표준물질의 개발 Ⅱ : 깊이분포도용 다층 박막 표준물질의 개발

김경중 ,  문대원

Applied Science and Convergence Technology

1999 .08

Negative Metal Sputter (DC sputtering)를 이용하여 증착된 MgO 박막의 특성

이원정 ,  안경준 ,  여환욱 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

Magnetron Sputter내 Plasma 분포 및 Target Erosion Profile 해석

김성구 ,  오재준 ,  신재광 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

Sputtering 공정 중 발생 된 in-film defect 분석 방법

정현재 ,  이선영 ,  김형우 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

고균일 Al 박막 증착을 위한 magnetron sputtering system 개발

이재희 ,  황도원

Applied Science and Convergence Technology

2008 .03

RF Magnetron Sputter 장비를 이용한 FTO 박막의 특성 측정

조용범 ,  정원호 ,  우명호 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

Oxygen flooding에 의해 왜곡된 SIMS depth profile의 보정

이영진 ,  정칠성 ,  윤명노 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

2001 .07

RF Sputtering으로 증착한 In2O3:C 박막의 구조 전이 연구

김주현 ,  강현철

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Nitrogen Depth Profiles in Ultrathin Oxynitride Films

H.K. Shon ,  H.J. Kang ,  H.S. Chang 외 2명

Journal of Korean Vacuum Science & Technology

2002 .06

Morphology of Sputtered Cu(001) Surface

S.-K. Kim ,  J.-S. Kim ,  J. Y. Han 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

Decision of Interface and Depth Scale Calibration of Multilayer Films by SIMS Depth Profiling

Hye Hyun Hwang ,  Jong Shik Jang ,  Hee Jae Kang 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02