Ti thin film deposited by grid - assisted magnetron sputtering

Min J. Jung; Kyung H. Nam; Jeon G. Han; Leonid R. Shaginyan

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: Min J. Jung Kyung H. Nam Jeon G. Han Leonid R. Shaginyan

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제23회 학술발표회초록집

발행연도: 2002.6

수록면: 154 - 154 (1page)

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2003

Deposition of TiO thin films using grid-assisting magnetron sputtering

Min J. Jung , Yong M. Kim , Yun M. Chung 외 1명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2003.05 학술대회자료

2002

Ti thin film deposited by grid - assisted magnetron sputtering

Min J. Jung , Kyung H. Nam , Jeon G. Han 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2002.06 학술대회자료

Physical properties of TiN thin films deposited by grid-assisted magnetron sputtering

Min J. Jung , Kyung H. Nam , Jeon G. Han 외 1명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2002.05 학술대회자료

2001

Nucleation and growth mechanism of nitride films deposited on glass by unbalanced magnetron sputtering

Min J. Jung , Kyung H. Nam , Jeon G. Han 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2001.06 학술대회자료

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Min J. Jung

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주요연구분야 자연과학 > 물리학

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Kyung H. Nam

소속기관 한국진공학회

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 2 이용수 15

한전건

소속기관 성균관대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 194 이용수 4,282

Leonid R. Shaginyan

소속기관 한국진공학회

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 1 이용수 11

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