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Low-temperature growth of wafer-scale MoS2 by MOCVD
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
MOCVD 장치 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .02
PE - MOCVD로 증착된 Hf(C,N)박막의 Cu에 대한 확산 방지 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
Cu MOCVD에서 구리 박막 성장에 미치는 기판의 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .02
CO₂ 클러스터 세정을 이용한 오염입자 제거에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
Preparation of Metallic Cu Thin Films by MOCVD Using Novel Organometallic Cu(II) Precursors
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
KSTAR 제1벽 세정을 위한 방전세정계 설계
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
Tungsten Nitride Film Growth by MOCVD for Cu Diffusion Barrier
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .08
Synthesis, Structural Details and Induction of Superconductivity in Ga1-xPbxSr₂Y1-yCayCU₂O₇ (x=0.0 to 0.6 & y=0.0 to 0.5)
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2008 .12
Inverse Magnetoresistance in the Simple Spin Valve System Fe1-xCrx/Cu/Co
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2007 .05
운반기체와 Ligand의 첨가가 MOCVD Cu 증착에 미치는 영향에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
2000 .09
RDS를 의한 Cu(110)와 산소가 흡착된 Cu(110) 표면에 Cu의 성장 모드
Applied Science and Convergence Technology
2006 .01
반도체 및 디스플레이 세정 공정용 CO₂ 클러스터 장비의 클러스터 발생 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
C - V 측정에 의한 Cu 확산방지막 특성 평가
Applied Science and Convergence Technology
1996 .12
Si (111)표면에서 Cu의 확산
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
MOCVD 공정으로 성장된 ZnO박막의 texture 제어 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
Characteristics of MOCVD Cobalt on ALD Tantalum Nitride Layer Using H₂/NH₃ Gas as a Reactant
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
급속열처리에 의한 MOCVD - Cu / TiN / Si 구조의 후열처리 특성
Applied Science and Convergence Technology
1997 .02
Cu MOCVD 공정에서 전구체들의 기상반응 메카니즘과 증착 속도에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
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