C₄F8 / O₂ / (N - based additives)를 이용한 ICP - type의 remote plasma silicon nitride PECVD chamber 세정 시 발생되는 global warming gas 저감에 관한 연구

김지황 ,  배정운 ,  오창현 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

지구 온난화 물질 감시 기술개발 ( Development of Monitoring Technology for Greenhouse Gases )

박종서 ,  박기준 ,  오성남 외 1명

한국대기환경학회 학술대회논문집

2000 .11

PLASMA GENERATION IN A HIGH - TEMPERATURE GAS

Han S. Uhm

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

ClO2 가스를 이용한 질소산화물 저감기술 개발

김규령 ,  신동호 ,  우창규 외 3명

한국대기환경학회 학술대회논문집

2018 .10

PECVD 공정에 의해 제작된 SION박막 특성 분석

정재욱 ,  추성중 ,  박정호

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

CO₂ 클러스터 세정을 이용한 오염입자 제거에 관한 연구

최후미 ,  조유진 ,  이종우 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

COMS 지구방출복사량 알고리즘

박명숙 ,  허창회

한국기상학회 학술대회 논문집

2006 .04

TiN 박막제조를 위한 PECVD 공정의 해석적 연구

안경한 ,  설용건 ,  김선효

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

A study on the establishment of the analytical technology for heavier hydrocarbons(C7+) in natural gas

Eun-Gyu Yun ,  Kang-Jin Lee ,  Yong-doo Kim 외 2명

한국분석과학회 학술대회

2017 .11

Research on the Multi-electrode Plasma Discharge for the Large Area PECVD Processing

Yun-Seong Lee ,  Dae-Ho You ,  You-Bin Seol

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

KSTAR 제1벽 세정을 위한 방전세정계 설계

정승호 ,  인상렬

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08

지구 온난화와 우리나라 지역별 기온변화 특성

김태룡 ,  류찬수

한국기상학회 학술대회 논문집

2008 .10

Gas Sensing Characteristic of $In_2O_3$ Nanowires to $H_2$ and $H_2S$ Gas

Kim ,  Won-Sik ,  Hong 외 1명

한국결정학회 학술연구발표회

2007 .01

Electrical properties of HfO_xN_y thin films deposited by PECVD

J.-H. Pa ,  k ,  J.-S. Hyun 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

The effect of gas flow on the substrate temperature distribution in an inductively coupled plasma

Yeong-Min Lim ,  Min-Seok Kim ,  Hyundong Eo 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Vertically Standing Graphene on Glass Substrate by PECVD

Yifei Ma ,  Wontae Hwang ,  Haegyu Jang 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

반도체 및 디스플레이 세정 공정용 CO₂ 클러스터 장비의 클러스터 발생 특성 분석

최후미 ,  조유진 ,  이종우 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

Low-Temperature Synthesis of Wafer Scale WS₂ by PECVD

Kanade Vinit ,  김형우 ,  박근상 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .02

지구온난화와 아시아 기후변동의 특징

임한철 ,  변영화 ,  박수희 외 1명

한국지구과학회 학술발표논문집

2006 .01

PECVD Synthesis of WS₂ for Hydrogen Evolution Catalysis

Kanade Vinit ,  Hyeong-U Kim ,  Seokjun Hong 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02