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2002
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Hybrid FVA증착법에 의해 합성된 ta - C / ta - C : Si 다층 박막에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
Filtered Vacuum Arc 코팅 장치의 개발 및 특성조사
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
Pulse - CVD를 이용한 gate용 Ta₂O5 박막의 증착 및 특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
Filtered Vacuum Arc Source의 Plasma Duct-Bias 변화에 다른 막 물성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
플라즈마 인자가 유기실리콘 박막 증착에 미치는 영향 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
전자빔의 조사가 직접이온빔으로 증착하는 CN 박막의 물성에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
실리콘 박막 증착을 위한 열필라멘트 화학 기상 증착 공정 중 발생하는 나노입자 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
FVA증착법에 의해 합성된 Ta-C 박막의 열처리 효과
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
Batch - Type 원자층 증착 방법으로 형성한 실리콘 질화막의 특성
Applied Science and Convergence Technology
2003 .12
저온프로세스를 이용한 Si1-xGex 박막 제작
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
입체표면형상 구조위에 PECVD로 증착된 Ta₂O5 유전박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1993 .07
Thermal - CVD를 이용한 미세결정성 carbon 박막의 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
Filtered vacuum arc 공정에 있어서 아르곤 가스에 의한 tetrahedral amorphous carbon 박막의 구조 조절
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
진공증착법에 의한 다결정 CdTe 박막제조 및 물성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1994 .02
원자층 증착법으로 형성된 실리콘 산화막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .08
PECVD 로 증착한 비정질 실리콘 박막의 고온결정화
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
PECVD로 증착한 Ta₂O5 박막의 전기적 특성 Electrical Characterization of Ta₂O5 Thin Films Deposited by PECVD.
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
분자동역학법을 사용한 실리콘이 첨가된 ta-C의 원자구조변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
저온 다결정 AlN 박막증착과 물성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
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