Ar / CH₄ 혼합가스를 이용한 ITO 식각특성

박준용; 김현수; 염근영

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 박준용 김현수 염근영

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제17회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1999.7

수록면: 244 - 244 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

1999

유도결합형 Ar / CH₄ 플라즈마를 이용한 ITO의 식각 특성에 관한 연구

박준용 , 김현수 , 권광호 외 2명 Applied Science and Convergence Technology 1999.12 학술저널

Ar / CH₄ 혼합가스를 이용한 ITO 식각특성

박준용 , 김현수 , 염근영 한국진공학회 학술발표회초록집 1999.07 학술대회자료

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박준용

소속기관 삼성전자

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 5 이용수 131

김현수

소속기관 한닢테크

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 43 이용수 1,128

염근영

소속기관 성균관대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학 TOP 5% 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 10%

논문수 337 이용수 10,958

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상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
	간행물 메타	부제목, 간행물 유형, ISSN, ISBN, 최초발행연도, 폐간연도, 간행빈도, 발행주기, 등재사항, 이용수, 피인용수, 권호수, 논문수, 표지이미지
	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
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