플라즈마 진단과 표면 분석에 의한 AlxGa₁-xN 식각 특성 연구

김현수; 이도행; 조재희; 이재원; 김태일; 염근영

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김현수 이도행 조재희 이재원 김태일 염근영

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제17회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1999.7

수록면: 225 - 225 (1page)

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