RF Magnetron Sputtering를 이용한 a축 ZnO:Al 박막의 구조적, 전기적 특성 연구

Junyoung Kang ,  Hyeongsik Pa ,  k 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Properties of ZnO:Ga thin films deposited by RF magnetron sputtering under various RF power

Deok Kyu Kim ,  Hong Bae Kim

Applied Science and Convergence Technology

2015 .11

RF magnetron sputtering 법으로 제조한 ZnO 박막의 RF 파워에 따른 특성

김종욱 ,  김민석 ,  이인환 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

RF magnetron sputtering법으로 성장시킨 ZnO박막의 광특성과 grain size의 영향에 관한 연구

김경국 ,  박성주 ,  정형진 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

열처리된 ZnO 박막의 광학적 특성에 관한 연구

심은희 ,  이초은 ,  고지현 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

RF Magnteron Sputtering법으로 증착한 ZnO 박막의 구조적, 광학적 특성

정영의 ,  조창우 ,  박성균

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

RF magnetron sputtering법으로 형성된 ZnO 박막의 투명박막트랜지스터 특성 연구

김종욱 ,  황창수 ,  김홍배

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

RF magnetron sputtering법으로 형성된 ZnO 박막의 RF 파워 및 공정 압력이 미치는 영향

김종욱 ,  황창수 ,  김홍배

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

RF - Magnetron Sputtering 법을 이용한 Indium - Tin Oxide 박막의 전기적, 광학적 특성에 관한 연구

김여중 ,  조길호

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .07

RF Sputtering 방법으로 증착시킨 ZnO:Ag 박막의 광학적 특성 연구

안병곤 ,  강현철

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

RF - Magnetron co - sputtering법으로 제작한 ZnO : Fe 박막의 강자성 원인연구

유장현 ,  권순주

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2005 .12

열처리 효과가 ZnO 박막의 특성 변화에 미치는 영향 연구

이초은 ,  심은희 ,  고지현 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

Electrical and optical properties of Ga-doped ZnO thin films prepared by RF magnetron Co-sputtering systems

Nam-Jung KIM ,  Naeho SHIN ,  Chang-Su HWANG

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Structural and Electrical Properties of a-axis ZnO:Al Thin Films Grown by RF Magnetron Sputtering

봉성재 ,  김선보 ,  안시현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

DC/RF Magnetron Co-Sputter를 이용하여 성막한 유기 태양 전지용 Si-Doped In₂O₃ (ISO) 박막의 특성 연구

이혜민 ,  강신비 ,  정권범 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

Effect of Ga-doping on the properties of ZnO f ilms grown on glass substrate at room temperature by radio frequency magnetron sputtering

G.C. Kim ,  S.K. Lee ,  J.S. Lee 외 4명

Applied Science and Convergence Technology

2008 .01

RF - magnetron sputtering 방법으로 형성된 RuO₂ 박막의 전기적 특성 분석

도승우 ,  장철영 ,  이용현

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

산소 유량에 따라 스퍼터된 ZnO 박막의 구조적, 광학적, 전기적 특성

김종욱 ,  황창수 ,  김홍배

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

The deposition temperature effects of ZnO buffer layers on the properties of ZnO:(Al,P) thin films by RF-magnetron sputtering

신승학 ,  이준형 ,  허영우 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02