An Indirect Method to Monitor Plasma Status in a Transformer Coupled Plasma

유대호 ,  안승규 ,  김지훈 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

One-dimensional Transformer Model for Solenoidal Inductively Coupled Plasma Source

이장재 ,  김시준 ,  김광기 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

대면적 Capacitively Coupled Plasma에서 Multi power feeding에 따른 Plasma uniformity 변화

유광호 ,  나병근 ,  유대호 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

Review of Plasma Sources

장홍영

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

Transformer-Coupled Toroidal Remote Plasma Source for Chamber Cleaning with NF₃ and CF₄

Duhyeon Ka ,  Jie Li ,  Heeyeop Chae 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

Research on parallelization mechanism of inductively coupled plasma for large area plasma source

이장재 ,  김시준 ,  김광기 외 5명

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2016 .02

Uniformity Control by Using Helium Gas in the Large Area Ferrite Side Type Inductively Coupled Plasma

한덕선 ,  방진영 ,  정진욱

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Two - dimensional simulation of inductively coupled large - area plasma source

S. E. Pa ,  k ,  J. K. Lee 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

Effect of hybrid plasma source on O radical generation in oxygen plasma

Kwan-Yong Kim ,  Kyung-Hyun Kim ,  Young-Hun Hong 외 2명

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2018 .08

TCP(Transformer Coupled Plasma)를 이용한 RF Sputter Etch Chamber 제작 및 특성에 관한 연구

이원석 ,  이진호 ,  김현수 외 2명

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1995 .02

Simulation and Measurement of Characteristic in 450 ㎜ CCP Plasma Source

박기정 ,  서상훈 ,  장홍영

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2012 .02

Oxide 및 Nitride 고선택비 식각 공정에서의 CF4(CHF3)/O2/Ar inductively coupled pulsed plasmas

김희주 ,  신예지 ,  김교운 외 4명

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2020 .02

Inductively Coupled Plasma 장치에서 Hybrid Plasma Model을 활용한 C₂F₈/ O₂ 가스의 특성 해석

김환호 ,  이정열 ,  박희성 외 2명

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2019 .08

Experimental investigation on plasma density distribution at a wafer-level in an inductively coupled plasma using multiple passive resonant antennas

홍영훈 ,  김주호 ,  이무현 외 2명

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2020 .08

CFD-Plasma & K-Plasma를 이용한 plasma simulation

유동훈

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2008 .08

대면적 페라이트 유도결합플라즈마 소스에 관한 연구

권광호 ,  임종혁 ,  김경남 외 2명

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2009 .02

대면적 페라이트 유도결합플라즈마 소스에 관한 연구

박정균 ,  임종혁 ,  김경남 외 1명

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2008 .02

Experimental investigation on the plasma generation efficiency and plasma parameters in inductively coupled plasmas with a serial and a parallel antenna

김태우 ,  강현주 ,  정진욱

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2017 .08

펄스 파워 유도결합 플라즈마 특성 연구

서상훈 ,  이정범 ,  윤주미 외 2명

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2008 .08

Dry etching of Al₂O₃ thin films in inductively coupled plasma system

Seok SON ,  Young Hee JOO ,  Chang Il KIM

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2016 .08