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반도체 공정에서의 진공 시스템 구성 및 역할
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
반도체 공정용 부품 코팅막의 성능평가 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .08
반도체 플라즈마 공정 전문가 육성을 위한 교육용 시뮬레이터(K-Plasma)
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
반도체 공정용 소재 및 부품 성능 평가 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
진공공정에서의 잔류기체 분석기를 활용한 실시간 공정 모니터링 : 반도체/LCD 제조 공정을 중심으로
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
반도체 공정용 진공 펌프의 에너지 소비특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
반도체 제조 공정용 건식 펌프(Dry pump)의 세계적 기술 동향 및 공정 적용 사례
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
펌프 내구성에 영향을 주는 반도체 공정 부산물 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
질량분석 기반 반도체 공정 화학반응 실시간 진단기술 및 사례
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
반도체 산업의 현재와 미래
진공이야기
2019 .03
반도체와 진공기술
한국진공학회 학술발표회초록집
1991 .07
반도체 공정 장비 플라즈마 시뮬레이션 연구 동향과 미래 전망
진공이야기
2018 .12
반도체 공정중에서 펌프내에 생성되는 부가물의 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
반도체용 특수가스 분석 기술
한국분석과학회 학술대회
2020 .06
반도체 플라즈마 이온 주입공정에서 직류 펄스 전압, 전류 감지를 통한 실시간 도즈 모니터링 시스템 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
반도체 공정 실시간 APC 통합 시스템
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
반도체 공정용 드라이펌프의 에너지 소비 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
반도체 및 LCD 공정이 TMP 성능에 미치는 영향 및 대응 방안
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
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