Halogen - based Inductively Coupled Plasma에서의 Ag 식각 특성에 대한 연구

박상덕 ,  이영준 ,  홍문표 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

Preparation of Ba₁_xSrxTiO₃ thin films by metal - organic chemical vapor deposition and electrical properties

Jong-Guk Yoon ,  Soon-Gil Yoon ,  Won-Jae Lee 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

1996 .03

MEICP(magnetically enhanced inductively coupled plasma)에 의한 RuO₂ 및 Ru 박막의 건식 식각 특성

장제욱 ,  이영준 ,  한근조 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

Dry etching of Al₂O₃ thin films in inductively coupled plasma system

Seok SON ,  Young Hee JOO ,  Chang Il KIM

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Inductively Coupled Plasma의 Numerical Simulation

주정훈

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .07

ICP(Inductively Coupled Plasma)를 이용한 Shallow Trench식각 특성 연구

이주훈 ,  김현수 ,  이주욱 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .06

Analysis of chemical reactions of CF₄ and C₄F₈ for inductively coupled plasma based on plasma parameters

J. J. Lee ,  S. J. Kim ,  Y. S. Lee 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Two - dimensional simulation of inductively coupled large - area plasma source

S. E. Pa ,  k ,  J. K. Lee 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

Oxide 및 Nitride 고선택비 식각 공정에서의 CF4(CHF3)/O2/Ar inductively coupled pulsed plasmas

김희주 ,  신예지 ,  김교운 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Experimental investigation on plasma density distribution at a wafer-level in an inductively coupled plasma using multiple passive resonant antennas

홍영훈 ,  김주호 ,  이무현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Inductively Coupled Plasma 방전의 Global Modelling 과 Simulation

유광일 ,  윤남석 ,  황순모

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

Interpretation of current decrease during E - H mode transition in a cylindrical inductively coupled plasma

Jun-Hyeon Moon ,  Ho-Jun Moon ,  Chin-Wook Chung

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

건식식각공정물성데이터베이스의 생산전략

유신재 ,  김정형 ,  성대진 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .08

Research on parallelization mechanism of inductively coupled plasma for large area plasma source

이장재 ,  김시준 ,  김광기 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Electrical Characteristics of Inductively Coupled Plasma Sources using Magnetic Resonance Wireless Power Transmission System

Ju-Ho Kim ,  Chin-Wook Chung

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

플라즈마 건식식각 중에 발생하는 충격에 관한 연구

윤석훈 ,  김희정 ,  정재룡 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

실리카 도파로(Silica Waveguide) 제작을 위한 Inductively Coupled Plasma에 의한 산화막 식각특성 연구

박상호 ,  권광호 ,  정명영 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

1997 .08

평판형 유도결합플라즈마를 이용한 RF 스퍼터 식각반응로 제작 및 특성에 관한 연구

이원석 ,  이진호 ,  염근영

Applied Science and Convergence Technology

1995 .06

고밀도 반응성 이온 식각을 이용한 IrMn 자성 박막의 식각

이태영 ,  소우빈 ,  김은호 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02