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저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제12회 학술발표회논문개요집
발행연도
1997.2
수록면
203 - 203 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

1997

RFI ionized magnetron sputtering에서 radial uniformity 문제
주정훈 Applied Science and Convergence Technology 1997.02 학술저널
RFI ionized magnetron sputtering을 이용한 Al,Cu,Ag 박막의 제작
주정훈 한국진공학회 학술발표회초록집 1997.02 학술대회자료

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목차

1. 서론

2. 실험 방법

3. 실험 결과및 고찰

4. 결과

5. 참고문헌

참고문헌 (0)

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