산소 이온 빔에 의한 실리콘 산화 과정의 in - situ MEIS 분석

김영필; 최시경; 하용호; 김세훈; 김현경; 문대원

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저자정보: 김영필 최시경 하용호 김세훈 김현경 문대원

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제10회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1996.2

수록면: 136 - 136 (1page)

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