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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 1997.5
- 수록면
- 97 - 102 (6page)
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이온-고체 표면 사이의 상호작용에 관한 연구를 수행하기 위하여 중 에너지 이온산란 분광장치를 개발하였고 그 특성 평가를 수행하였다. 제작된 MEIS의 에너지 분해능은 4×10^(-3)으로 측정되었다. MEIS의 표면분석의 응용으로 60 keV H^+을 Ta₂O_5(300 Å)/Si에 적용하여 에너지 손실인자와 깊이 분해능을 얻은 결과는 42eV/Å와 9.7 Å이었다. 또한, Si(100) 표면에 97.5 keV H^+이온을 random 방향으로 입사시켜 이차윈 스펙트럼을 얻었다.
목차
요약
Abstract
1. 서론
2. 실험장치 및 실험
3. 결과 및 고찰
4. 결론
감사의 글
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