성막 후 N ion implantation 처리에 의한 GZO 박막의 전기적 특성

손종윤; 임희섭; 김병인; 유윤식

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 손종윤 임희섭 김병인 유윤식

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제27회 학술발표회초록집

발행연도: 2004.8

수록면: 262 - 262 (1page)

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