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논문 기본 정보

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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제16권 제6호
발행연도
2007.11
수록면
453 - 457 (5page)

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상온에서 RF magnetron sputtering 을 이용하여 10㎚에서 50㎚ 의 두께를 가지는 ZnO 와 GZO 를 유리 기판위에 증착하여 두 물질 간의 구조적 특성과 광학적 특성을 평가하였다. 구조적인 특성은 투과전자현미경 (TEM) 과 주사전자현미경 (SEM)을 통해 이루어졌다. 광학적 특성 평가는 spectrophotometer를 이용하여 UV-VIS-NIR 영역에 관한 투과도를 측정하였다. ZnO의 결정크기가 GZO보다 상대적으로 더 크게 나왔으며 이는 결정 경계면에서 발생하는 광산란을 줄임으로서 투과도의 향상을 가져왔다. 투과 전 영역에서 ZnO의 투과도가 더 높게 나왔으며, 특히 50㎚ 박막의 경우 ZnO 의 투과도가 GZO 보다 20% 이상 더 뛰어난 것을 확인 할 수 있었다.
#ZnO #GZO #주사전자현미경 #투과전자현미경 #투과도 #SEM #TEM #transmittance

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
감사의 글
참고 문헌

참고문헌 (1)

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1. [학술지(정기간행물)] - T. Minami / 2007 / Phys. Stat google schola

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