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TSV용 스퍼터 테스트 카트 디자인
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
스퍼터법으로 증착된 ITO / Glass 박막의 전기 및 광학적 특성과 플라즈마 처리에 따른 박막의 표면거칠기 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
DC 마그네트론 스퍼터를 사용하여 투명 디스플레이 전면전극용 ITO박막의 증착 및 조건 변화에 따른 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
MTJs에서 MgO 스퍼터 조건에 따른 터널링 특성
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2007 .12
플라즈마 디스플레이 패널의 Ar 가스 첨가에 따른 효율 향상에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
플라즈마 디스플레이 패널의 단일 및 봉합패널에서의 outgassing 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
플라즈마 디스플레이 패널 구성 물질에서의 outgassing 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
다양한 플라즈마 처리 방법에 의존하는 PDP 패널 내 MgO layer의 outgassing 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
교류형 플라즈마 디스플레이 패널에서의 기판 온도에 따른 MgO보호막의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .07
유도 결합 플라즈마를 이용한 스퍼터-승화 증착 시스템의 공정 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
플라즈마 디스플레이 패널용 Ne - Xe - He Gas의 영차원 시뮬레이션
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
산화 마그네슘 박막의 대면적 스퍼터 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
대면적 플라즈마 디스플레이 패널용 MgO 성막의 요소기술 및 장치개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
플라즈마 디스플레이 패널용 ITO 전극의 레이저 직접 패터닝에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
롤투롤 스퍼터를 이용하여 성장시킨 정전용량 방식의 터치 패널용 ITO 투명 전극 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
교류형 플라즈마 디스플레이용 MgO 박막의 조성변화에 따른 방전전압특성의 영향
Applied Science and Convergence Technology
2000 .02
대항 타겟식 스퍼터법을 이용한 IZO 박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
저에너지 이온에 의한 AC 플라즈마 디스플레이 판넬에 사용되는 MgO 박막의 2차전자 방출특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
개선된 진공 배기 성능과 저손상 전처리 장치가 장착된 롤투롤 스퍼터 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
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