Tungsten Nitride Film Growth by MOCVD for Cu Diffusion Barrier

B ,  ad H. Lee ,  Kijung Yong

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .08

불순물을 주입한 텅스텐(W) 박막의 확산방지 특성과 박막의 물성 특성연구

김수인 ,  이창우

Applied Science and Convergence Technology

2008 .11

Self-formation of Diffusion Barrier at the Interface between Cu-V Alloy and SiO₂

문대용 ,  박재형 ,  한동석 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

W-C-N 확산방지막의 전자거동(ElectroMigration) 특성과 표면 강도(Surface Hardness) 특성 연구

김수인 ,  김창성 ,  이재윤 외 8명

Applied Science and Convergence Technology

2009 .05

Self-forming Barrier Process Using Cu Alloy for Cu Interconnect

문대용 ,  한동석 ,  박종완

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

V-Based Self-Forming Layers as Cu Diffusion Barrier on Low-k Samples

박재형 ,  문대용 ,  한동석 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

Atomic Layer Depositied Tungsten Nitride Thin Films as Diffusion Barrier for Copper Metallization

황영현 ,  이인환 ,  조병철 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Failure mechanism of very thin diffusion barriers

홍민기 ,  김경중 ,  위명용

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07

Electron Scattering at Grain Boundaries in Tungsten Thin Films

최두호 ,  김병준 ,  이승훈 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Synthesis, Structural Details and Induction of Superconductivity in Ga_1-xPb_xSr₂Y_1-yCa_yCU₂O₇ (x＝0.0 to 0.6 & y＝0.0 to 0.5)

Shiva Kuma ,  Anuj Kuma ,  V.P.S. Awana 외 1명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2008 .12

Inverse Magnetoresistance in the Simple Spin Valve System Fe_1-xCr_x/Cu/Co

Ngoc Anh T. Nguyen ,  Hoang Yen T. Nguyen ,  H. Yil 외 2명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2007 .05

Thermal Stability of Self-formed Barrier Stability Using Cu-V Thin Films

한동석 ,  문대용 ,  김웅선 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

Tungsten Nitride Thin Film Deposition for Copper Diffusion Barrier by Using Atomic Layer Deposition

황영현 ,  조원주 ,  김영환 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .08

Fermentative Bio-Hydrogen Production of Food Waste in the Presence of Different Concentrations of Salt (Na+) and Nitrogen

이풀잎 ,  이태진

Journal of Microbiology and Biotechnology

2019 .01

Magnetic Effects of La0.67Sr0.33MnO₃ on W-C-N Diffusion Barrier Thin Films

Moon Kyoo Song ,  Ji Seop So ,  In Bo Shim 외 1명

한국자기학회지

2005 .04

Co - Cu 합금 및 Co / Cu 다층박막의 구조, 자기적성질 및 자기저항현상에 관한 연구

오용주 ,  김용혁 ,  이성래

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

1993 .05

W-C-N 확산방지막의 격자상수 변화 분석을 통한 특성 연구

김수인 ,  이창우

Applied Science and Convergence Technology

2008 .03

Electrical Properties of Tungsten Oxide Interfacial Layer for Silicon Solar Cells

Gyujin Oh ,  Eun Kyu Kim

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

ULSI용 Electroplating Cu 박막의 미세조직 연구

박윤창 ,  송세안 ,  윤중림 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

2000 .09

Properties of electroless Ni-P alloy as a diffusion barrier and seed layer in through-Si vias for 3D copper interconnection

김태유 ,  신세희 ,  박종환 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02